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PECVD上料区防撞舟保护装置

907   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 09:00:54
本实用新型涉及PECVD上料区防撞舟保护装置。目前,太阳能光伏领域PECVD上料设备的上料区域只有一个光电传感器,一旦光电传感器失效,就无法检查到推入设备中的小车上有无石墨舟,将会存在严重的安全隐患。本实用新型的PECVD上料区防撞舟保护装置,其中:上料设备通过导线与继电器串联,继电器通过导线分别与Ⅰ号光电传感器和Ⅱ号光电传感器串联,Ⅰ号光电传感器与Ⅱ号光电传感器通过导线并联。本实用新型的优点:在上料区增加一个光电传感器,作为双重保护。通过改进后,能够在一个传感器失效后,通过另一个传感器检测,保护石墨舟和机械臂的安全,是设备运行更稳定。采用简单有效的方法改进,节约成本,又便于维护保养。
声明:
“PECVD上料区防撞舟保护装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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