本发明公开了一种表贴元件剖面制样及其制作方法和观察方法。表贴元件剖面制样中,表贴元件埋置于一透明彩色基体内,表贴元件一侧的剖面与基体的一个表面平齐。观察时,在所述表贴元件剖面制样的正面,利用显微镜进行观察,在制样背面加背面入射光。利用本发明制作出的剖面制样结构的清晰度有很大提高,表贴元件内部各层材料之间的界面和端电极形貌更加清晰美观,对表贴电阻的失效分析(FA)和破坏性物理分析(DPA)十分有用。
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来源：北方有色网
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