本实用新型提供一种晶舟位置侦测器防护装置，真空腔和贯穿该真空腔底部的光杆，所述光杆连接有位于真空腔内的晶舟承载平台；位于真空腔外的所述光杆连接有沿一丝杆上下移动的托板；所述丝杆连接于一马达；位于所述托板上且设有校准点的导杆；位于所述真空腔外与所述真空腔相对固定且用于侦测所述校准点的位置侦测传感器；位于所述托板下方的开关触发装置；该开关触发装置内设有常开常闭开关；其中，常开端与马达构成回路，常闭端与位于该开关触发装置内的报警装置构成回路。该晶舟位置侦测器防护装置用于解决现有技术中由于位置侦测传感器失效而使得所述托板上下运动异常造成晶圆撞击损坏的问题，同时减少人工维护的工作量和节省维护费用。
声明：
“晶舟位置侦测器防护装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
1120
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
