本发明提供一种制程机台监控的离线量测的方法与系统。提供一自我调整监控规则数据库,用以储存用于执行晶圆批量处理的预定监控规则。定义用于执行该晶圆批量处理的监控数据,根据选取自该自我调整监控规则数据库中的监控规则取得所欲监控数据,根据该监控数据并利用一制程机台执行一离线量测操作以产生监控结果,并且根据该监控结果比较该选取的监控规则与数据以判断是否发生异常状态。若否,则利用该制程机台执行晶圆批量处理。若是,则结束该制程机台的晶圆批量处理。接着反馈一失效通知,并且重新定义监控规则以更新该自我调整监控规则数据库。本发明可改善晶圆批量处理的效率与流程,减少生产损失。
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来源：北方有色网
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