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晶圆允收测试结构

984   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 09:00:19
本申请公开了一种晶圆允收测试结构,该结构将两套测试图案结合起来,不但能够监控金属互连层失效问题,而且能够监控金属互连层之间的连接孔的失效问题,因此能够更有效、全面地监控金属-氧化物-金属(MOM)器件的失效问题。
声明:
“晶圆允收测试结构” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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