本发明提供一种流量测量装置,用于测量流过气体供给系统的气体的量,多个器具连接在该气体供给系统中。根据第二实施例的流量测量装置包括:配置用于检测流过气体供给系统的气体流量的流量传感器、以及配置用于求取所检测的气体流量的微分的微分器。提供存储器,器具的气体消耗的概况能够与器具的身份相关地存储在该存储器中。根据本发明的流量测量装置还包括第一概况探测器,该第一概况探测器响应于微分气体流量以从所存储的概况中搜索对应于所检测的气体流量的概况。该装置还包括第二概况探测器,该第二概况探测器响应于第一概况探测器的失效而从所存储的概况中找到相应的概况,以分析所检测的气体流量,从而确定多个器具中的至少一个的身份。
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来源：北方有色网
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