本申请涉及一种针测卡异常判断方法及装置。针测卡异常判断方法通过获取各量测单元中在相同测试位置的
芯片的单元失效率，并判断各量测单元在相同测试位置的芯片的单元失效率是否分别满足第一异常条件。若各量测单元在相同测试位置的芯片的单元失效率满足第一异常条件，则判断满足第一异常条件的各量测单元之间的测试顺序是否满足第二异常条件。若满足第一异常条件的各量测单元之间的测试顺序满足第二异常条件，则判定针测卡异常。上述针测卡异常判断方法可以结合各量测单元中在相同测试位置的单元失效率以及第一异常条件和第二异常条件，实现对针测卡的异常情况的监控和分析，从而可以及时对针测卡进行检修，减少因测试不良导致的良率损失。
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编辑：管理员
来源：北方有色网
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