本发明公开了一种氮化镓电子器件的检测方法和系统，所述方法包括：获取处于静态工作点的氮化镓电子器件在预设光束扫描下的漏极电流值和扫描位置，其中，所述扫描位置为所述预设光束在所述氮化镓电子器件上的投射位置，一个扫描位置对应一个漏极电流值；根据获取的漏极电流值和扫描位置，绘制漏极电流随所述扫描位置的变化图，并将绘制的变化图与所述氮化镓电子器件的光学显微图像进行叠加，生成叠加图像；根据所述叠加图像，获取所述氮化镓电子器件的陷阱缺陷位置信息。实施本发明的方法和系统，可获取陷阱缺陷在氮化镓电子器件的空间分布信息，进而可提供对器件进行筛选和失效分析的依据。
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来源：北方有色网
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