一种LED晶粒点测机的针偏检测系统及方法,包含一点测机及一计数显示装置,其中该点测机至少具有一用以置放至少一片LED晶圆的承载位移装置及两支用以与该LED晶圆上该些LED晶粒电气接触的测试探针,而该计数显示装置与该两支测试探针电性相接,故能够形成一针偏检测回路,用以计数显示该两支测试探针于该LED晶圆上的测试探针偏移次数;因此该两支测试探针能够依序点测LED晶圆上的该些LED晶粒,在持续位移点测的情况下,能够藉由检测该两支测试探针是否与该LED晶粒接触范围形成导通回路,并持续累积未接触导通的次数,以作为探针偏移的总次数。本发明能够将发生针偏的次数进行累积计数与显示针偏次数,以辅助机台作业人员进行针偏位移失效总数的统计。
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来源：北方有色网
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