一种避免氧化炉管二氯乙烯失效的方法和装置，用于确保热氧化生长过程中二氯乙烯通过N2的携带方式正常通入所述氧化炉管内，对于每个含有二氯乙烯的工艺制程，采集其二氯乙烯重量减少的数据，如所述二氯乙烯重量减少的数据在正常值范围内，则说明每次都有足够量的二氯乙烯通进所述氧化炉管内。本发明通过直接监测DCE的重量是否减少来确保DCE送入氧化炉管内，消除了传统技术中通过监测N2的流量而间接地监测DCE是否送入氧化炉管所隐藏的不确定因素，保证了DCE能够有效去除SiO2生长过程的杂质离子，确保了SiO2的薄膜质量。
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来源：北方有色网
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