本发明公开了一种适用于钨
铜靶板的集成模块化探针系统，包括有钨铜靶板和探针组件。钨铜靶板为钨片、无氧纯铜适应层和铬锆铜基座焊接而成，铬锆铜基座内被中间隔座隔分为两个水冷管道，水冷管道与连接
铜管、进水铜管和出水铜管焊接连接而成。探针组件包括有探针头、前端陶瓷圈、铜连接件、后端陶瓷圈、弹簧垫圈、顶紧螺钉、接线螺钉和导线，安装于铬锆铜基座内的探针孔中，其中探针头可采用钨铜或纯石墨结构。本发明采用集成模块化结构，充分利用靶板空间，可整体拆装，无焊接固定结构，拆卸维修时对靶板无损坏的风险；探针系统结构简单、紧凑，空间分辨率更高；提高了探针系统测量精度。
声明：
“适用于钨铜靶板的集成模块化探针系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
894
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
