本发明公开了一种大面积多特征射线表面分析装置，包括多特征测量结构、三维移动平台、激光光源、光谱仪以及控制系统，所述多特征测量结构安装于三维移动平台上，激光光源和光谱仪安装于三维移动平台底部，控制系统连接并控制多特征测量结构、三维移动平台、激光光源以及光谱仪。本发明可针对同一样品点进行点分析，同时获得元素成分、结晶相、分子结构以及形貌特征信息，又能针对指定区域进行分布扫描分析，同时获得该区域元素分布、结晶相分布、分子结构分布成像以及形貌特征信息，具有高效快速，结构紧凑，功能强大，可分析样品范围广，无需采样或将样品带到实验室即可在现场实现原位无损分析等特点。
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来源：北方有色网
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