本发明提供了一种光刻胶形貌的三维重建方法，本发明通过无损测量方式获得所述采集区域的光刻胶线条在第一倾角下的第一二维图像使得其无需破坏晶圆进行制样，消除了样品的成本，还使得其不会出现由于切片造成的光刻胶图形出现移位、拉伸、改变原本形貌等问题，从而提高了测量精度，同时，在获取第一二维图像和第二二维图像时，均通过机器自动完成，无需通过人工操作，因此不存在人员测量差异，还降低了人工的成本。并通过本发明的方法使得重建的所述采集区域的光刻胶线条的三维图像的过程通过软件实现，其也是机器自动完成，无需通过人工操作，大幅度缩短检测周期，加快了工艺研发进度。
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来源：北方有色网
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