本发明公开了一种利用扫描探针显微技术探测材料介电常数的方法。本发明包括如下步骤：首先，利用静电力显微镜的电场梯度探测获得探针与试样间电容梯度的实验值；然后利用镜像电荷法建立探针试样间电容随试样介电常数变化的理论模型；最后将实验值与理论模型进行比较，推断出试样的介电常数。本发明能够获知试样在纳米尺度下的介电常数信息，且具有无损伤探测的优点，适用于各种电介质如绝缘体或半导体等材料的表征。
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来源：北方有色网
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