本发明公开了一种多镜面透镜组镜面间距的低相干光干涉测量方法和装置，其中方法包括：产生第一、第二两低相干光；在第一光路上放置楔形棱镜组，由楔角相同的第一楔形棱镜和第二楔形棱镜组成；在所述第二光路上放置光学平板和被测多镜面透镜组；调整好被测透镜组至适当位置后，沿楔角的棱面连续移动第二楔形棱镜，使得被测透镜组各镜面的反射光依次与所述第二楔形棱镜的楔角的另一棱面的反射光，在CCD相机接收面上产成干涉条纹，根据所述第二楔形棱镜移动过程中，产生相邻两次干涉条纹的位置读数，计算得到被测多镜面透镜组中心轴上相邻镜面间距。本发明，实现了对多镜面透镜组的镜面间距的非接触无损伤测量，反应灵敏，测量精度高。
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来源：北方有色网
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