本发明公开了一种激光探测集成电路内部电平状态的系统，包括：连续激光器、光学模块、物镜、三维移动台、测试机、光电探测器、放大器、信号分离器、信号提取器、控制计算机、移动台控制箱；本发明利用激光穿过
芯片背部硅衬底无损直接探测其内部节点电平状态，时间分辨率高，可大面积二维扫描芯片，采用基于硅基半导体器件固有不对称性的共光路探测方案，能实现集成电路内部特定频率工作点的定位和电平状态变化波形提取。
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来源：北方有色网
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