本发明公开了基于条纹成像投影的显微三维形貌测量装置，包括顺序连接的He‑Ne激光器、第一扩束系统、偏振分光镜、λ/2波片、空间光调制器、第一透镜、λ/4波片、第二扩束系统、空间滤波器、第二透镜、聚光镜、第一孔径光阑、投射显微物镜、成像显微物镜、第二孔径光阑、筒镜和CCD相机，其中，空间滤波器和第二透镜之间设有反光板，待测物体放置于投射显微物镜与成像显微物镜之间的带有水平面板的工作台的水平面板上，CCD相机外接计算机。这种装置灵活高效、具有较大的动态测量范围、能降低光路的成本，增强测量的灵活，可实现相移测量，具备高精度、高垂直分辨率、测量简单快捷、无损优点。
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来源：北方有色网
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