一种基于数字散斑干涉的曲面物体离面形变测量方法及装置，其特征是通过对曲面物体进行40～50度入射照明并采集光束偏转前、后以及相移前后的散斑图获取曲面的三维形貌，根据三维形貌计算得到曲面上任意点的法线矢量，然后通过对待测曲面进行加载，进一步得到待测曲面变形前后的不同散斑图，结合形貌测量获得曲面物体表面任意一点的法线矢量，测得沿法线方向的离面形变。本发明能够对三维形貌和离面形变实现综合测量，是一种无损，全场，高效的数字散斑干涉测量方法。
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来源：北方有色网
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