本发明公开了一种小型简易光学间距非接触低相干测量装置，其特征在于，包括箱体、计算机、测量臂以及设置在所述箱体内部的光纤干涉探测盒、扫频光源、指示光源和参考臂；所述光纤干涉探测盒内设置有光纤耦合器、环形器、波分复用器和平衡探测器；所述参考臂包括第一准直器、反射镜以及用于安装所述反射镜且可对所述反射镜的位置进行调节的反射镜安装座，所述测量臂包括第二准直器和待测样品；本发明可用于小型光学表面间距非接触测量，具有结构简单紧凑、易于调整组装、便于移动、测量无损伤等优点；本发明通过反射镜安装座，能实现反射镜的位置的方便调节，以保证从反射镜返回的光线能再次进入第一准直器，方便装置的光路调节。
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来源：北方有色网
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