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基于低相干光干涉法的透镜中心厚度的非接触测量方法

1300   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:58:32
本发明公开了一种基于低相干光干涉法的透镜中心厚度的非接触测量方法,包括:采用白光或低相干光作为入射光源,调整等光程干涉仪两光路臂之间光程差使其能够观察到干涉条纹;在两光路臂中分别置入棱镜组和光学平板玻璃,两路光束分别垂直棱镜组和光学平板玻璃端面,移动棱镜组中可动楔形棱镜调整光程差,直至测量过程中首次看到干涉条纹;在平板玻璃所在光路臂中置入被测透镜并让光束垂直通过透镜中心,继续移动可动楔形棱镜直至第二次看到圆形干涉条纹;分别记录两次观察到干涉条纹时可动楔形棱镜联动测量尺的位置读数,计算透镜中心厚度。本发明操作简便、非接触且无损测量,采用透过式干涉测量,特别适用于表面反射率极低的透镜中心厚度测量。
声明:
“基于低相干光干涉法的透镜中心厚度的非接触测量方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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