本发明公开了一种薄膜厚度和折射率的光学测量方法及其装置。将宽带光源出射的光通过干涉结构,产生干涉信号,再探测干涉信号的光谱信息,并将光谱信息进行傅立叶变换,即可得到产生干涉信号的二光路的光程差信息。在折射率已知的情况下,以同种方式在一个干涉臂中放置样品后再测一次,比较这两次光程差信息即可薄膜厚度。若折射率未知,需将薄膜旋转一个角度,进行第三次测量来计算出获得薄膜的折射率和厚度。本发明采用光学方法,对样品是无损的,分辨率为微米量级,测量范围可达到毫米量级。另外样品不要求严格贴附在样品台上,同时信息处理方法简单,对于透明或半透明薄膜可以方便实时地得到其厚度和折射率信息。
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来源：北方有色网
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