本实用新型提出了一种实现薄膜厚度精确测量的装置，包括迈克尔逊干涉仪、图像传感器CCD、数据采集模块、硬件和驱动电路；迈克尔逊干涉仪用于产生干涉条纹，且迈克尔逊干涉仪上设有点光源；CCD用于记录迈克尔逊干涉仪产生的干涉条纹，且CCD与数据采集模块电性连接；数据采集模块设有计数器，计数器用于对干涉条纹进行计数，且计数器将计数结果输送至硬件；硬件与数据采集模块电性连接，且硬件内设有数据处理及输出模块，且数据处理及输出模块将硬件内的信息进行处理并输出；驱动电路与CCD电性连接。本实用新型具有快速、准确、无损伤和测量范围大等优点，可应用于工业生产的在线检测，在纳米技术的基础性研究中也有一定的应用价值。
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来源：北方有色网
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