一种大量程高精度微接触力位移测量装置及其控制方法，涉及一种高精度位移检测装置及控制方法。音圈电机的动子与气浮导轨移动部件一端连接，音圈电机的定子与气浮导轨基座连接，气浮导轨基座右上端设有中空腔，气浮导轨移动部件滑动设置在气浮导轨基座的中空腔内，光栅尺与气浮导轨移动部件连接，读数头与气浮导轨基座连接；压电陶瓷执行器首端与气浮导轨移动部件另一端连接，压电陶瓷执行器末端与微力传感探针连接，辅助监控显微镜与压电陶瓷执行器的固定基座连接。本发明用于大量程高精度微接触力位移测量，可对毫米尺度精密零件及装配体的尺寸及形状精度等几何量进行纳米精度的无损测量。
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来源：北方有色网
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