一种面内位移和离面位移同时测量的激光散斑测量装置和方法。本发明利用面内位移的激光散斑干涉测量光路与离面位移的激光散斑干涉测量光路相结合的方法，通过一次布置光路，同时实现被测物体面内位移和离面位移分布信息的测量。本发明所述的装置和方法具有简单易行、快速、准确的特点，可广泛应用于光电无损检测等领域的微小位移的实时、高精度可靠测量。
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来源：北方有色网
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