本发明公开一种能无损的检查检查对象的表面及内部的断层摄影检查装置及方法。所述断层摄影检查装置，包括：光源，其产生向检查对象的内部照射的测量光；分束器，其将所述测量光分割为参考光和测量光，将参考光照射至参考镜，并将测量光照射至检查对象，使在参考镜反射的参考反射光和在检查对象散射以及反射的信号反射光重叠来产生干涉光；扫描部，其将在所述分束器分割的测量光引导至检查对象的检查位置；散射滤波器，其安装于在检查对象反射的反射光的路径上，使在检查对象反射的反射光散射，使引导至分束器的信号反射光的强度增加；以及光电检测器，其检测所述干涉光，以获得检查对象的内部影像信号。
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来源：北方有色网
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