本发明公开一种原位光学检测装置，应用于原子层沉积设备，包括光学测试系统和光学镜头配套组件，光学测试系统设置在原子层沉积设备的反应腔室外部，光学镜头配套组件包括镜头腔和设置在镜头腔内的光学镜头、转角组件和光学镜头延长管，转角组件两端分别连接光学镜头和光学镜头延长管；光学测试系统通过光学组件与光学镜头延长管连接，形成测试光路；镜头腔通过第一法兰组件固定在反应腔室的侧壁上。本发明可进行光学无损检测，并且可以在光学原位检测的辅佐下控制薄膜初始生长阶段的模式。同时，在原子层沉积系统中，可进一步的设计和开发新的人工改性
半导体材料，为各种高质量、具有特异性能的二维薄膜的制备，提供有力的理论及实验基础。
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来源：北方有色网
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