本发明提供了一种缺陷检测设备及方法，通过激光发射装置发出探测光，并使探测光辐照到待测样品上，形成信号光，然后通过分光装置将信号光中包含的散射光和荧光进行分离，使得荧光入射到第一探测装置成像，散射光入射到第二探测装置成像，进而通过控制装置处理第一探测装置采集到的荧光图像信息以及第二探测装置采集到的散射光图像信息，得到待测样品的表面缺陷信息以及亚表面缺陷信息。通过本发明提供的技术方案能够实现对待测样品的亚表面缺陷的无损检测，而且能够同时实现对待测样品的表面缺陷的无损检测，有利于节约缺陷检测的测试时间，提高测试效率。
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来源：北方有色网
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