本发明涉及基于剪切散斑干涉的激光超声无损检测设备，包括：分束器件，其布置在激光器的出射端，具有两个出射端；振镜，其布置在分束器件的其中一个出射端；扩束镜，其布置在分束器件的另一个出射端；剪切装置，其用于获取工件表面所产生的漫射光；CCD相机，其布置在剪切装置的出射端；信号处理器，其分别与CCD相机、激光器和振镜电连接。利用剪切散斑术进行位移测量，测量的位移导数即应变，以实现缺陷检测，对应力集中处较敏感，灵敏度高；激光激励和激光干涉用同一个光源，体积重量大幅度减小；采用CCD相机，视场大；剪切装置形成的两个干涉场基本上是共光路的，因此不易受到外界环境振动、空气扰动等因素的干扰，克服了隔振的要求。
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来源：北方有色网
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