本发明涉及基于表面等离子体共振的光学加速度传感器。该加速度传感器包括表面等离子体共振折射率传感器和气体膜盒。利用气体膜盒作为第一级加速度敏感元件，将输入的加速度变化转化为新型气体膜盒内传感气体的折射率变化，通过表面等离子体共振折射率传感器测量出折射率的变化，该折射率变化与输入加速度的大小成正比。本发明将在生物、化学传感领域广泛应用的SPR传感技术与新型气体膜盒相结合，应用于加速度传感中，具有灵敏度高、结构简单等特点。
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来源：北方有色网
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