本发明公开了一种抗潮解掺铊碘化铯薄膜及其制备方法，属于闪烁体探测器技术领域。本发明首选采用真空热蒸镀法在衬底上镀制掺铊碘化铯薄膜，然后采用等离子体增强化学气相沉积法在掺铊碘化铯薄膜表面制备纳米级别的二氧化硅薄膜，致密的二氧化硅薄膜能够有效阻止空气中水分子进入掺铊碘化铯薄膜，能够克服掺铊碘化铯薄膜容易潮解的缺陷，避免了潮解对掺铊碘化铯薄膜的光转换效率和空间分辨率等性能指标的影响提高了薄膜的抗潮解能力和使用寿命。另外，本发明处理过程简单，薄膜附着牢固，有利于实际生产应用。
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来源：北方有色网
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