本发明涉及砷化镓光电阴极制备方法技术领域，尤其涉及一种低成本三代像增强器半导体光电阴极湿法处理方法，采用调节腐蚀过程中的化学试剂配比和腐蚀溶液的温度，控制腐蚀的速率，腐蚀均匀，可以解决衬底残留，腐蚀不彻底的问题。同时，腐蚀速率分段控制，适当加快砷化镓外延片湿法处理的效率，提高生产率速率，解决砷化镓外延片衬底腐蚀不干净、残留、表面粗糙的问题。一种低成本三代像增强器半导体光电阴极湿法处理方法，S1、采用千分尺测量阴极组件衬底腐蚀前的高度h1，通过高度变化差，定量判断衬底腐蚀结束时间；S2、采用超声波清洗机，频率40KHz，分别用异丙醇及去离子水对K9玻璃作为窗口玻璃的砷化镓阴极组件进行除油、清洁。
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来源：北方有色网
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