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柔性薄膜热电堆及其制备方法

831   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:56:57
本发明涉及一种柔性薄膜热电堆及其制备方法,所述热电堆包括:聚酰亚胺(Polyimide,简写为PI)薄膜衬底,衬底的一面设置有第一热电极,另一面设置有第二热电极,同时衬底上包含有数个通孔用于连接第一热电极与第二热电极,从而形成热电堆。本发明还公开了该热电堆的制备方法,包括利用化学溶液法在聚酰亚胺薄膜的两面原位生长金属,分别制得银薄膜与薄膜,再利用激光直写方法对银薄膜和镍薄膜进行图形化处理,图形化后的热电极经通孔连接形成热电堆,该热电堆不仅制备流程简单,且尺寸小成本低,有较高的灵敏度以及快速响应等优点,可实现冷热端温度的实时监测,具有高性价比和实用性。
声明:
“柔性薄膜热电堆及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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