本发明涉及一种掺杂钛酸锶薄膜型热电偶，是采用两组不同掺杂钛酸锶薄膜作为热电偶的热电极材料，采用磁控溅射、丝网印刷或者化学旋涂工艺，在高温陶瓷基片上沉积制备可用于高温温度测量的掺杂钛酸锶氧化物薄膜热电偶。该薄膜热电偶采用直接贴装或者涂覆在陶瓷基片表面，可用于高温氧化气氛中的温度测量，能够在1200℃-1500℃高温下长期稳定工作。
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来源：北方有色网
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