本发明公开了一种单片阵列式石英晶体微天平传感器及其制作方法，在一片石英晶片上呈矩阵式集成若干QCM单元，各QCM单元涂覆与测量相对应的敏感材料形成功能各异的QCM单元，配合低噪声振荡电路，形成各自的频率信号输出，各QCM单元设有退耦间隙用于隔离QCM单元之间的振动耦合，使QCM单元之间振动互不干扰各自独立工作。通过在一片石英水晶上集成多单元QCM，这些QCM单元组合成矩阵，拥有各自的振荡电路，构成独立的取向性各异的采集单元，可以同时测量多种气体或化学物质或生物细胞等，解决了QCM的功能单一问题，同时也具备成本低，集成度高，功能多样化的优点。
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来源：北方有色网
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