非接触模式与接触模式协同工作的原子力显微镜控制方法，解决现有两种工作模式组合方式存在无法原位表征的问题，属于原子力显微镜技术。本发明的原子力显微镜的悬臂梁带动探针在样品上方，方法包括：S1、原子力显微镜的悬臂梁带动探针在样品上方设定距离处，激发传感器激发悬臂梁带动探针谐振，测试长程性能；S2、激发传感器停止激发，驱动样品向上运动或探针向下运动进而使样品表面紧贴上方的探针，激励传感器产生激励信号作用于样品和/或探针，测试样品的物理化学特性；S3、激励传感器停止产生激励信号，同时样品或探针回到原位，驱动样品或探针移动使原子力显微镜的悬臂梁带动探针移动至下一个测试位置点，转入S1。
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来源：北方有色网
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