本实用新型提供一种具有浓度自调节功能的湿法清洗设备，包括：清洗槽、补给管路、浓度监测装置及控制装置；清洗槽用于承载清洗液及待清洗件；补给管路一端与清洗槽相连通，另一端与补给源相连接，补给管路上设置有电动阀；浓度监测装置位于清洗槽内；控制装置与浓度监测装置及电动阀相连接，以基于浓度监测装置的监测结果控制电动阀的通断，由此向清洗槽内补充所需的化学液，以将清洗槽内的清洗液浓度维持在预设值。本实用新型对清洗槽的清洗液浓度进行实时监测，以将清洗液的浓度维持在预设值，有助于确保清洗质量，提高批次内及批次间的晶圆清洗质量的均匀性；通过有效延长清洗液的清洗寿命，可以有效降低清洗成本，减少清洗液的排放。
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来源：北方有色网
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