本发明涉及一种多晶化学气相沉积的(CVD)金刚石晶圆，其包括：最大线性尺寸等于或大于70mm；厚度等于或大于1.3mm；以及在室温(标称的298K)下测量的、多晶CVD金刚石晶圆的至少中心区域上的以下特征中的一个或两个：在10.6μm下吸收系数≤0.2cm-1；和在145GHz下介电损失系数为tanδ≤2×10-4，所述中心区域是圆形的，以多晶CVD金刚石晶圆的中心点为中心，并且具有的直径为多晶CVD金刚石晶圆的最大线性尺寸的至少70％。
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来源：北方有色网
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