本发明属于神经微探针阵列技术领域,具体为一种组装式神经微探针阵列的制作方法。该方法用电镀焊接的方法把微探针阵列与对应的柔性互连线组装在一起,并用定刻胶对焊接处进行加固,
电化学腐蚀出金属探针针尖后,用聚对二甲苯涂敷除插脚外的所有地方,接着,反应离子刻蚀掉针尖上的聚对二甲苯,根据刻蚀的条件可以控制微探针的阻抗。金属微探针有足够的强度刺入神经组织,而柔性互连线不会引起太大的损伤,这种方法制作的神经探针集合了两者的优点,有利于用作长期植入式神经信号的探测。
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来源：北方有色网
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