合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 利用非热溶液用于远紫外掩模清洗的方法和系统

利用非热溶液用于远紫外掩模清洗的方法和系统

972   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:14:38
本发明实施例提供了一种修复掩模的方法。该方法包括检查掩模以识别掩模上的缺陷;对掩模使用非热化学溶液来对掩模实施清洗工艺;以及修复掩模以从掩模去除缺陷。通过冷却模块冷却非热化学溶液至室温以下的工作温度。本发明实施例涉及利用非热溶液用于远紫外掩模清洗的方法和系统。
声明:
“利用非热溶液用于远紫外掩模清洗的方法和系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
小知识 | 什么是水电铝,水电铝的优势有哪些? 衡水市:独立储能发展布局指导方案印发 中原关键金属实验室主任何季麟:建设国家级关键金属创新高地 储能电池出口迎来爆发式增长,锂电企业纷纷拓展海外市场 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(七 ) 工信部发布第四批《减免车辆购置税的新能源汽车车型目录》 陕西:推出有色金属行业碳达峰实施方案,推动全产业链节能降碳 方圆公司赴台技术服务团队凯旋 动力电池向高能量密度迭代,固态电池成“兵家必争之地” 展商推荐 | 威格科技(苏州)股份有限公司邀您出席第三届全国钒钛资源与储能科技大会 市场竞争加剧,锂电企业纷纷拿出“杀手锏” 开辟新领域!电池企业纷纷布局低空市场 强势上涨!铜价破8万大关,创18年新高 铝合金应用难题被攻克,服役温度从350℃提升至500℃ 欣旺达在固态电池领域取得突破性进展,预计2025年完成产品开发 小知识 | 金属钼了解一下 最快2023年上市!超级“核电池”无需充电能正常使用90年之久 中国十大金矿排名!紫金山金铜矿居榜首 小知识 | 铝矾土和铝矿石、铝土矿的区别 亿纬锂能:2023年实现总营收飙升,同比增长34.38% 西安稀有金属材料研究院邀您观看“2022全国管道输送及耐磨材料在矿冶领域应用技术”在线报告会 历史性时刻!中国新能源汽车的渗透率首次突破50% 600万吨氧化铝、240万吨电解铝!东方希望大手笔布局拉开帷幕 冶金百科 | 金银冶金 - 金的物理和化学性质是什么? 金的主要化合物有哪些? 南山铝业第一家海外电解铝项目将落户印尼,规划产能为100万吨 日产全固态电池试点生产线预计2025年3月投入运营 衡阳市市委书记秦国文到株冶有色调研 铜业百科 | 铜及铜合金热处理概述 小知识 | 钛合金是如何制造锻压的?它可以运用到哪些领域? 矿山安全 | 露天矿山开采的五大防护措施
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门嘉宾
更多+

报告下载

赤泥综合利用研究报告2025
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记