锇膜电阻线原子氧传感器
芯片的制造方法,它涉及锇膜电阻线构成的电阻型原子氧传感器芯片的制造方法。本发明解决了现有工艺制备锇膜存在容易开裂、原子氧测量的准确性差的问题。本发明方法如下:一、用物理气相沉积法在基片上依次沉积铬膜和金膜;二、然后在金膜表面上电镀锇膜;三、在锇膜表面形成线形的光刻胶图案;四、然后用
电化学阳极溶解法刻蚀锇膜;五、再用湿化学法刻蚀金膜,经去胶后即在基片表面形成锇膜电阻线。本发明制得芯片的锇膜电阻线表面光滑平整,无微裂纹和针孔,线宽小,厚度大,因此该原子氧传感器芯片的初始电阻较高,测量精度良好,原子氧反应率线性度高,可连续在线长期稳定工作。本发明的方法工艺简单、操作方便。
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来源：北方有色网
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