一种基于
碳纳米管湿度传感器及制作方法,其包括:一基底;通过热氧化法或化学气相沉积法生长于基底表面上的绝缘层;通过光刻/刻蚀法或光刻/剥离法或丝网印刷法制备于绝缘层表面上的由金属或
多晶硅构成的电极对;电极对为平行对电极或梳齿式对电极;梳齿式对电极的梳齿相对放置或梳齿交叉放置;电极对之间和电极对上/下面组装有碳纳米管材料层;组装方法为电泳组装方法或流体排布组装方法或浸泡蒸发法;有益效果:电极对制作属于标准微加工工艺或丝网印刷工艺,方法简单;碳纳米管结构尺寸小,比表面积大,吸附能力强,且电泳组装、流体组装方法或浸泡蒸发法可实现批量生产;该湿度传感器尺寸小,灵敏度高,线性度好,能用于环境湿度检测。
声明：
“吸附式碳纳米管湿度传感器及其制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
1044
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
