本发明提供了一种高精度叉指电极、其制备方法和应用。本发明采用半导体薄膜工艺，采用磁控溅射方式在绝缘基体上加工金属薄膜，光刻叉指电极线路图案，显影曝光形成图形线路，蚀刻底层形成电极线路；去胶膜后即得所述高精度叉指电极。高精度叉指电极线宽线距为1～40μm，拥有导电内层和反应层，可用于生物分子检测，具体可用于制备
电化学免疫传感器。
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来源：北方有色网
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