本发明涉及光离子化气体检测技术领域，尤其涉及一种真空紫外灯结构及其制备方法、光离子化传感器，真空紫外灯玻璃外壳的一端开口处设有真空紫外窗，真空紫外灯玻璃外壳内部形成一封闭的腔室，腔室内填充有工作气体；真空紫外窗的表面上固定设有第一接触件、第二接触件以及收集电极结构，收集电极结构包括至少两组相互绝缘的电极结构，第一接触件和第二接触件分别与两组电极结构电连接。本发明的有益效果是：本发明将离子化腔、收集电极结构、真空紫外灯玻璃外壳结合为一个整体，实现了原位对化学气体的离子化与收集，极大地简化了光离子化传感器的光离子化和离子收集结构，降低了离子化腔的零件结构数量和复杂度。
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来源：北方有色网
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