本实用新型提供一种氦气回收提纯装置，该装置包括：过滤器；化学吸附装置；组分分析装置；加气罐；加热器；催化系统；冷却器；第一净化系统；粗氦冷却器；精馏塔塔；第二净化系统；以及氦气储罐。采用本实用新型的氦气回收提纯装置，能够用于回收含有氦气的工业废气，将氦气的纯度提高，也可以深入提纯得到纯氦、高纯氦和超纯氦产品。相对于现有技术，采用本实用新型的氦气回收提纯装置具有成本较低、环保高效且适用范围较广的优点。
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来源：北方有色网
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