本发明提供的是一种锯齿形流道单向压电微泵。它包括泵体、泵盖和驱动装置,泵盖上开有泵腔、流体进、出口锯齿形流道等结构,泵盖上开有进口与出口,泵体与泵盖键合在一起,驱动装置由PDMS压电薄膜和压电陶瓷片粘结在一起,PDMS薄膜与泵体采用不可逆粘结法粘结在一起。本发明的微泵体积小、结构简单、操作方便,适合批量化生产,并且由于没有移动部件,微泵寿命相对较长。本发明的产品可广泛用于
仪器仪表、医疗器械、化学分析、药物食品以及航空航天等领域。
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“锯齿形流道单向压电微泵” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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