本发明公开了一种集成有微流控系统的光学微纳生物传感器的制作方法，包括：清洗基片，在基片顶层上通过光刻、显影、刻蚀等步骤制作微纳平面波导型光学器件；在器件表面旋涂厚SU-8胶，通过对准曝光、后烘、显影等步骤得到SU-8胶微流通道；将PDMS薄片覆盖SU8层并永久键合，从而实现了平面波导型微纳光学器件与微流控的集成；通过进液口注入相关试剂，完成对微环区域的化学修饰，再注入待测试剂溶液，通过观察光功率或谐振谱的变化，从而实现了片上生物检测的功能。该方法具有操作简单、可靠性高的优点，适用于大部分的平面波导型微纳光学生物传感器的微流控系统制作。
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来源：北方有色网
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