本发明属于纳米制造、超精密加工、特种加工技术领域，提供了一种石英半球谐振子纳米制造装备。在原有的数控机床基础进行改造。该装备包括：数控微纳移动旋转平台、分度装置、聚焦离子束装置、化学机械抛光装置，激光干涉仪检测成像装置，辅助功能装置等。本装备可以实现一次装夹，同时完成磨削，超精密磨削，化学机械抛光，表面精度测量和离子束加工修型等几道工序，涉及到从宏观的材料去除到微观的
纳米材料加工，实现的半球陀螺宏微纳一体化制造加工，使其达到表面粗糙度，圆度，圆柱度均小于100nm。
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来源：北方有色网
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