本发明公开了一种非晶SI-B-C-N四元陶瓷前驱物的制备方法及其制该前驱物的装置,该制备方法首先采用含乙烯基的氯
硅烷和硼烷为原料制得反应中间体,然后向反应中间体中通入氨气交联聚合制得非晶SI-B-C-N四元陶瓷前驱物,制得的前驱物中经红外光谱检测未发现氯化铵。通过该装置上部设置的多个接口,以及多孔陶瓷板,能够较为方便地与外部设置的多种气源、冷却系统、加热系统、回流系统等进行组合与拆分来制备不同化学产物。
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来源：北方有色网
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