采用三元钛
镍铜形状记忆合金膜驱动的弦锥结构微驱动器及其制备方法,形状记忆合金驱动薄膜采用溅射方式沉积,并应用MEMS工艺完成条形化电阻设计。微驱动器的上、下体结构采用SI刻蚀工艺制备,并实现键合焊接,其组成包括:能起到压力泵作用的上体(2)及阀体作用的下体(3),所述的上体(2)及下体(3)加工成具有压力泵作用的驱动腔(4);所述的下体(3)在加工驱动腔(4)的同时,制成具有单流向阀的阀体扩张管(5)和收缩管(6);所述的阀体扩张管和收缩管分别与进水管道(7)和出水管道(8)相对准连接,所述的弦锥结构微驱动器上装有三元TINICU/SI形状记忆合金驱动薄膜(1)。本发明可广泛应用于流体微量传送、集成系统冷却及微量化学分析等领域。
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“采用钛镍铜合金膜驱动的弦锥结构微驱动器及制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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