本发明涉及敏感技术领域，特别是一种制备酒敏 薄膜的方法。该方法是用等离子增强型化学气相淀 积法制备氧化铁酒敏薄膜，其关键是参加化学气相淀 积反应的源物质采用了金属有机化合物五羰基铁[Fe (CO)5]。用此方法制备的氧化铁酒敏薄膜，在 1000ppm浓度下的乙醇气体中，灵敏度可达50，而在 同样浓度的城市煤气，氢气和液化石油气等杂气气氛 下，其灵敏度分别仅有1.4，2.9和6，而且对于酒精的 最低检测浓度可达到1ppm以下。具有灵敏度高，选 择性好，响应恢复时间快等优点。
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来源：北方有色网
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